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    本发明涉及氮化硅膜蚀刻组合物，利用其的氮化硅膜的蚀刻方法及半导体元件的制造方法。背景技术：氧化硅氧化硅膜(sio2)及氮化硅膜(sinx)是用于半导体制造工序的**性绝缘膜。其中，氮化硅膜用于半导体设备中的盖层、间隔层或硬膜层。单独使用氧化硅膜及氮化硅膜，或者交替地层叠一层以上的氧化硅膜和一层以上的氮化硅膜来使用。氮化硅膜的蚀刻在160℃左右的高温下使用高纯度的磷酸和去离子水的混合物来进行。但是，由于高纯度的磷酸对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比下降，因此存在难以应用于氮化硅膜与氧化硅膜的层叠结构的问题。并且，包含磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物在高温下因持续性地蒸发水分而浓缩，从而影响氮化膜和氧化膜的蚀刻率，因此必须持续供应纯水(去离子水(deionizedwater))。但是，即使供应的纯水的量发生微小变化，也可导致去除氮化硅膜时的缺点，磷酸本身作为强酸具有腐蚀性，因此存在难以处理的问题。为了解决上述问题并提高对氧化硅膜的氮化硅膜的蚀刻选择比，可使用将硅酸溶解于磷酸的氮化硅膜蚀刻组合物。但是，由于上述氮化硅膜蚀刻组合物在进行蚀刻时产生析出物，且反而氧化硅膜的厚度增加的异常生长(anomalousgrowth)问题，存在难以应用于工序的问题。菏泽做食品包装材料生产厂家。聊城山东鸣展包装材料有限公司专卖

    会出现账料不符、混料等情况，影响品质及声誉，更有可能影响到客户端批量混料发生，造成报废的问题。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种cof包装铝箔袋及其设计方法，包括铝箔袋体，所述铝箔袋体的两侧表面位置处均开设有观察窗口，所述观察窗口的内侧位置处固定设置有观察窗袋。作为本发明进一步的方案：所述观察窗袋是一种由透明材料制成的构件。作为本发明进一步的方案：所述铝箔袋体的厚度尺寸为100um-120um。作为本发明进一步的方案：所述观察窗袋的厚度尺寸为90um-110um。作为本发明进一步的方案：一种cof包装铝箔袋设计方法，包括以下步骤：sp1：采用多种塑料薄膜作为原材料，将原材料复合后通过制袋机制成铝箔袋体；sp2：在铝箔袋体的两侧表面开口形成观察窗口；sp3：采用透明材料制得观察窗袋，将观察窗袋进行裁剪处理，使得观察窗袋的尺寸适配于观察窗口的尺寸；sp4：通过热合工艺处理将观察窗袋封装于观察窗口后即可得到包装铝箔袋。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过在铝箔袋体上设置透明的观察窗袋，铝箔袋将cof产品密封包装后能够通过观察窗袋看到内部状况，便于观察到产品信息。聊城山东鸣展包装材料有限公司专卖济宁批发纳米彩钢铝膜生产厂家。

    切边后的板材尺寸还需要进一步进行核准测量，增大了产品误差率，降低了产品的精度，降低了工作效率，同时切边工作产生的碎屑未得到及时处理，影响车间环境的问题。附图说明图1为本技术所述一种具有碎屑收集功能的全自动铝膜板切边装置的主视结构示意图。图2为本技术所述一种具有碎屑收集功能的全自动铝膜板切边装置的右视结构示意图。图3为本技术所述一种具有碎屑收集功能的全自动铝膜板切边装置的左视结构示意图。图4为本技术所述一种具有碎屑收集功能的全自动铝膜板切边装置的局部放大结构示意图。图中：1、切割平台；2、支腿；3、壳体；4、挡板；5、支撑架；6、***丝杆模组；7、切割锯；8、滑块；9、注水管；10、增压泵；11、蓄水池；12、滤箱；13、门型桁架；14、第三丝杆模组；15、第四丝杆模组；16、液压杆；17、安装板；18、真空吸盘；19、弹簧；20、按压板；21、第二丝杆模组；22、旋转电机；23、限位块；24、伸缩杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例。

    上述r1及r2分别**地为氢、羟基、氨基、卤素、氨基c1-20烷基、氨基c1-20烷氧基、c1-20烷基、c1-20烷氧基或它们的组合；选自上述r3及r4中的至少一种为聚磷酸基，另一种为氢、羟基、氨基、卤素、c1-20烷基、c1-20烷氧基或它们的组合或聚磷酸基；上述l1为c1-20亚烷基，上述亚烷基的-ch2-能够由-o-、-s-s-、-c(＝o)-、-nr'-、-sir'r'-o-sir'r'-或-nr'-c(＝o)-nr'-代替，上述r'为氢或甲基；上述a及b分别**地为1或2的整数，选自上述r1至r4中的重复的取代基可以相同或不同。作为一具体实施方式，上述硅化合物可以是如下的硅化合物，即，在上述化学式2及化学式3中，选自上述r14及r15中的至少一种为聚磷酸基，另一种为氢、羟基、氨基、卤素、c1-20烷基、c1-20烷氧基或它们的组合或聚磷酸基。作为一具体实施方式，上述硅化合物可以是如下的硅化合物，即，在上述化学式2及化学式3中，上述r11至r13及r16分别**地为氢、羟基、氨基、卤素、氨基c1-7烷基、氨基c1-7烷氧基、c1-7烷基、c1-7烷氧基或它们的组合，或者包含***基、磷酸基、聚磷酸基或它们的组合的是一价取代基；选自上述r14及r15中的至少一种为聚磷酸基。山东包装材料有哪些好的公司？

    所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。一并参照图1至图7，为一种较优的实施方式，一种锂电池铝塑膜冲壳机，包括移动基板1、移动冲模3、固接在移动基板1下方的切割板2和设置在切割板2下方的移动凸模4，移动冲模3用于与移动凸模4配合将铝塑膜冲压成型，切割板2用于切去已成型的铝塑膜部分，形成铝塑膜壳体坯料。本实施例采用机架作为支撑基础，机架包括固定板51和支撑固定板51且四角布置的支撑柱52，支撑柱52穿设在移动基板1和切割板2上，支撑柱52对固定板51起支撑作用和对移动基板1及切割板2起限位作用，使得移动基板1和切割板2*能在固定板51底部进行上下移动。移动冲模3包括连接杆32、固接在连接杆32底部的下压凹模31，所述移动基板1内设有行程孔11，所述连接杆32的上端设置在行程孔11内，连接杆32上套设有弹簧6，所述移动冲模3通过弹簧6顶紧在移动基板1和切割板2之间，移动冲模3可通过一体成型的方式制成，下压凹模31底部设有用于适应产品轮廓方形凹模，移动凸模4的顶部设有与下压凹模31相配合的方形凸块。济南批发铝塑复合膜生产厂家。聊城山东鸣展包装材料有限公司专卖

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    如PC极性高分子)上直接镀铝再镀保护膜。镀铝保护膜具有提高铝膜的机械强度，阻隔有害气体(如大气中的O2)或物质对铝膜的侵蚀[6]等作用，使镀层具有亮丽的金属光泽，优异的气体和光线阻隔性，良好的防潮、耐热、耐穿刺性能，物品在运输、贮存和使用过程中不受污染、腐蚀，保持光洁亮泽。由于PC主链含有酯基，在一定湿度的常温环境下基材吸水率较高()，从注塑出模的产品在2h内进行镀铝比较好，存放时间长了，会有基材吸水引起的镀铝后出现雾状的情况。PE、PP等聚烯烃材料和ABS属非极性聚合物，其表面自由能小，表面湿张力较低(一般为30dyn/cm)，较粗糙，与镀铝层之间的结合力很差。对其预涂底漆后可获得光滑平整的涂层，具有镜面效果，可遮盖基材，防止真空镀膜时塑料基材中的挥发性杂质逸出，影响镀膜质量。因此，这类材料一般采用预涂底漆后镀铝的方式来改善镀层与基材之间的结合力。目前国内较多使用丙烯酸酯底漆，并根据基材类型调整底漆配方，主要为热固化底漆和紫外光(UV)固化底漆，适用性很好。灯具塑料件大多采用预涂底漆后镀铝，再镀保护膜的方式，保护膜的实质就是二氧化硅。SiO2薄膜具有很好的保护性，可使铝膜在10%的碱性溶液中完好无损。聊城山东鸣展包装材料有限公司专卖

山东鸣展包装材料有限公司主要经营范围是包装，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为压花铝箔，铝塑复合膜，丁基胶带铝箔，橡塑铝箔等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造包装良好品牌。山东鸣展包装材料秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。